當(dāng)前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>顯微測量儀>>掃描電鏡>> CEM3000鎢燈絲掃描電子顯微鏡
中圖儀器CEM3000系列鎢燈絲掃描電子顯微鏡用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析。采用的鎢燈絲電子槍控制相對簡單,,操作容易上手,,不需要專業(yè)的、長時(shí)間的培訓(xùn)即可掌握其基本操作技能,,適合廣大用戶使用,,尤其是對于那些沒有深厚電子顯微鏡操作經(jīng)驗(yàn)的初學(xué)者或非專業(yè)技術(shù)人員來說,更容易快速熟悉和使用設(shè)備,,開展相關(guān)的檢測和研究工作,。
產(chǎn)品功能
1)臺式電鏡緊湊的外型,CEM3000系列臺式掃描電鏡能夠不受場地尺寸制約,,真正做到了空間適用性,,用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時(shí)CEM3000也能根據(jù)用戶需求,,輕松移機(jī),,一臺機(jī)器多處開花;
2)高分辨率,,能夠?qū)ξ⒊叽缣卣鬟M(jìn)行觀測分析,,滿足用戶的觀測需求,;
3)快速抽放氣,憑借真空系統(tǒng)設(shè)計(jì),,該系列臺式電鏡縮短了用戶抽放氣的等待時(shí)間,;
4)高易用性,能夠快速成像,、一鍵出片,,用戶使用自動調(diào)節(jié)功能,無需過多人工操作,,就可得到高質(zhì)量拍攝圖片,;
5)大樣品倉,CEM3000A在保證較小外型尺寸同時(shí),,具有比肩立式電鏡的大倉室,,從而容納更大尺寸樣品;
6)高抗振防磁性能,,全系列電鏡均具有優(yōu)秀的抗干擾能力,,特別是CEM3000B使用本公司技術(shù),基于復(fù)合抗振手段,,將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度,;
7)可選配低真空模式,保證用戶能夠根據(jù)需要設(shè)定電鏡樣品倉內(nèi)真空度,,進(jìn)而對不同類型的樣品進(jìn)行觀測,;
8)能夠提供多種成像參數(shù)供用戶選擇,滿足專業(yè)用戶的調(diào)節(jié)需求,;
9)搭配有多種探頭,,能夠?qū)悠愤M(jìn)行多種手段的分析。
應(yīng)用領(lǐng)域
CEM3000系列鎢燈絲掃描電子顯微鏡外型緊湊,,空間適用性強(qiáng),,整機(jī)采用大量的抗干擾設(shè)計(jì),避免使用環(huán)境造成的影響,,拓寬了應(yīng)用范圍,。同時(shí),該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調(diào)節(jié)功能,,能夠?qū)Σ煌愋偷臉悠愤M(jìn)行觀測,,具有高空間分辨率。
用戶可在CEM3000系列臺式掃描電鏡上搭配不同的探頭,,同時(shí)接收多種信號,,對樣品進(jìn)行分析。
應(yīng)用范例:
雙機(jī)型搭配
CEM3000桌面式能譜掃描電子顯微鏡設(shè)有CEM3000A(大樣品倉)、CEM3000B(抗振型)兩款子機(jī)型,,分別在樣品倉容量,、抗振性方面進(jìn)行了強(qiáng)化加深和技術(shù)拉通,,兩者具有高通用性,,但又各有千秋。
還運(yùn)用了快速抽放氣設(shè)計(jì),,讓用戶在使用時(shí)不再等待,,且全系列可選配低真空系統(tǒng),以便精準(zhǔn)調(diào)節(jié)樣品倉內(nèi)真空度,,滿足不同樣品的觀測需求,。
部分技術(shù)指標(biāo)
型號 | CEM3000A(大樣品倉型) | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數(shù) | 電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接) | |
探測器 | 二次電子 | 標(biāo)配 |
背散射電子 | 標(biāo)配(四象限高分辨探頭) | |
能譜儀 | 選配 | |
自動化軟件 | 標(biāo)配:自動合軸,、自動聚焦,、自動消像散、一鍵圖像增強(qiáng) | |
選配:顆粒度統(tǒng)計(jì),、孔隙率測量,、纖維測量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統(tǒng) | 真空度 | 高真空:優(yōu)于9×10-3Pa 低真空:5 ~ 100 Pa(選配) |
抽真空時(shí)間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺 | 自動軸 | X,,Y,,T |
手動軸 | R,Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°(手動旋轉(zhuǎn),、電子束旋轉(zhuǎn)) | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
最大樣品尺寸 | 70mm×70mm(水平) 45mm(高度) | |
倉內(nèi)相機(jī) | 導(dǎo)航相機(jī) | 標(biāo)配高分辨彩色相機(jī) |
側(cè)視相機(jī) | 標(biāo)配高分辨紅外相機(jī) | |
操作系統(tǒng) 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 |
如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢,。